Система анизотропного реактивно-ионного травления RIE-1701
Cистема RIE-1701 — это установка анизотропного реактивно-ионного травления. Полностью автономна. Рабочая камера изготовлена из высококачественного анодированного алюминия с керамическими оправками, что обеспечивает долгий срок эксплуатации. Рабочая камера оснащается питающим электродом диаметром 150 мм либо 200 мм, что позволяет существенно расширить диапазон обрабатываемых пластин, корпусов и других компонентов.
Функциональные особенности
Интуитивно понятный графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана позволяют вести мониторинг техпроцесса в режиме реального времени;
ВЧ-генератор с рабочей частотой 13,56 МГц оснащен системой автоматического согласования, что обеспечивает уровень повторяемости техпроцесса, не имеющий аналогов;
Точный контроль температуры осуществляется системой, интегрированной внутри рабочей камеры;
Превосходное качество плазменного травления при производстве МЭМС и светодиодных устройств Система RIE-1701 предназначена для травления и очистки поверхности различных полупроводниковых материалов, включая кремний, оксид кремния, нитрид кремния, металлов и различных других материалов, используемых для производства МЭМС, светодиодных устройств и множества других компонентов, удаления пассивирующих слоев, очистки поверхности полупроводниковых пластин, активации поверхности, удаления различных эпоксидных и других материалов, используемых при изготовлении интегральных схем.
Система работает с большим разнообразием технологических газов, включая Ar, O2, H2, He, CF4, SF6, Cl2, а также BCl3. В комплект системы входят два электронных контроллера расхода газа.
На данный момент система имеет один рабочий газ – смесь Аргона и Кислорода 60:40, обеспечивающая точное травление полимерных материалов. Возможно подключение дополнительных баллонов, в этом случае возможно травление стекла и металла.
Элементы радиофотоники, выполненные с использованием установки RIE-1701, приведены в наших публикациях.
Denisyuk, I. Y., Burunkova, Y. E., Pozdnyakova, S. A., Balya, V. K., Zhuk, D. I., & Fokina, M. I. (2015). An electro-optic polymer modulator for radio photonics. Optics and Spectroscopy, 119(4), 719-723.
https://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S0030400X15100100.pdf
Balya, V. K., & Denisyuk, I. Y. (2015). Formation of a wedge-shaped element on an end face of a microstrip optical waveguide designed to minimize loss when coupling with an optical fiber. Optics and Spectroscopy, 119(4), 724-727.
https://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S0030400X15100082.pdf